掃描電子顯微鏡是一種大型分析儀器，它廣泛應(yīng)用于觀察各種固態(tài)物質(zhì)的表面超微結(jié)構(gòu)的形態(tài)和組成。 所謂掃描是指在圖象上從左到右、從上到下依次對(duì)圖象象元掃掠的工作過(guò)程。它與電視一樣是由控制電子束偏轉(zhuǎn)的電子系統(tǒng)來(lái)完成的，只是在結(jié)構(gòu)和部件上稍有差異而已。在電子掃描中，把電子束從左到右方向的掃描運(yùn)動(dòng)叫做行掃描或稱作水平掃描，把電子束從上到下方向的掃描運(yùn)動(dòng)叫做幀掃描或稱作垂直掃描。兩者的掃描速度完全不同，行掃描的速度比幀掃描的速度快，對(duì)于1000條線的掃描圖象來(lái)說(shuō)，速度比為1000。
可進(jìn)行綜合分析。裝上波長(zhǎng)色散X射線譜儀（WDX）或能量色散X射線譜儀（EDX），使具有電子探針的功能，也能檢測(cè)樣品發(fā)出的反射電子、X射線、陰極熒光、透射電子、俄歇電子等。把掃描電鏡擴(kuò)大應(yīng)用到各種顯微的和微區(qū)的分析方式，顯示出了掃描電鏡的多功能。另外，透射電鏡能譜檢測(cè)服務(wù)，還可以在觀察形貌圖象的同時(shí)，對(duì)樣品任選微區(qū)進(jìn)行分析；裝上半導(dǎo)體試樣座附件，通過(guò)電動(dòng)勢(shì)象放大器可以直接觀察晶體管或集成電路中的PN結(jié)和微觀缺陷。由于不少掃描電鏡電子探針實(shí)現(xiàn)了電子計(jì)算機(jī)自動(dòng)和半自動(dòng)控制，因而大大提高了定量分析的速度。
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