親疏水處理度對于GaAs/GaN鍵合界面透光性的影響

采用親疏水兩種不同的處理方法，在氮氣保護、600℃熱處理1h條件下，成功實現(xiàn)了GaN和GaAs異質(zhì)材料的鍵合，兩種處理方法均可滿足器件對于鍵合強度及鍵合面積的要求.從親疏水鍵合機理的不同出發(fā)，研究了兩種處理方法對于界面透光性的影響，對鍵合樣品進行了可見光透射譜測試，實驗結果表明疏水鍵合界面對于垂直入射的630nm的光可以獲得高達94.7%的透過率，并將鍵合樣品加工成器件進行電致發(fā)光(EL)譜測試，實驗結果與透射譜測試結果一致.

目前的PDMS芯片鍵合通常是采用PDMS與玻璃進行鍵合的方式進行，PDMS與玻璃之間的鍵合通常對于玻璃的材質(zhì)有要求且對玻璃表面的潔凈程度要求很高，如果玻璃材質(zhì)變化或者玻璃表面潔凈程度不夠均會導致鍵合強度不夠從而漏液。為實現(xiàn)良好的鍵合，在玻璃材質(zhì)的情況下對于玻璃的清洗要求也很嚴格，通常通過乙醇、去離子水超聲工藝以及等離子清洗等方式反復進行，工藝繁瑣且造成資源浪費。解決PDMS與玻璃鍵合過程中對于玻璃材質(zhì)的選擇問題，北京親水處理，現(xiàn)有技術中主要采用的是PDMS與玻璃鍵合時采用鈉鈣玻璃進行，對于石英、鋼化玻璃、ITO玻璃、 鍍有其他功能薄膜(Ag膜、Au膜等)等其他材質(zhì)的玻璃鍵合效果不理想，對于鍍有電極的玻璃如果電極面積占比較大也會導致PDMS與玻璃之間鍵合不牢固。

【親疏水性】

歷，羅馬的Pliny the Elder(老普林尼)在《Natural History》中記載了“when oil is poured onto water， it stills the w***es.””oil” should be olive oil. 1773年，Benjamin Franklin次書面記載了他驗證此說法所進行的實驗。1890年，Rayleigh（瑞利）重復了Franklin的實驗，他認為形成的是單層油膜，基于此，玻璃親水處理，計算出了原子的厚度。

從這里就體現(xiàn)出來了oil differ with water這個事實，oil即為疏水。跟溶解度，還不是完全等同，比如N***溶液，就不用親疏水性來解釋。

生***學中的許多非共價相互作用是以親疏水性的方式展現(xiàn)出來的。比如lipid構成的細胞膜。特別是，表面活性劑，主要就是靠親疏水性來解釋的。蛋白質(zhì)含有許多nonpolar groups，這是蛋白保持結構的主要原因。

1954年，Kauzmann首先提出了“hydrophobic bonding”的概念。重要的是疏水相互作用，pet 親水處理，而不是親水，從概念的革命上來說，親水處理***，后者是前者衍生出來的。

但在表面研究方面，似乎親疏水是同樣地位的，親水表面水滴鋪開，疏水表面水滴收縮起來。

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