MEMS光刻工藝外協(xié)——廣東省科學(xué)院半導(dǎo)體研究所是廣東省科學(xué)院下屬骨干研究院所之一，主要聚焦半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展的應(yīng)用技術(shù)研究，兼顧重大技術(shù)應(yīng)用的基礎(chǔ)研究，立足于廣東省經(jīng)濟(jì)社會(huì)發(fā)展的實(shí)際需要，從事電子信息、半導(dǎo)體領(lǐng)域應(yīng)用基礎(chǔ)性、關(guān)鍵共性技術(shù)研究，以及行業(yè)應(yīng)用技術(shù)開發(fā)。

在半導(dǎo)體電路中，除了用于可控導(dǎo)電的各種二極管、三極管外，還必須要用絕緣物質(zhì)將不同的電路隔離開來。對(duì)于硅基元素來說，形成這種絕緣物質(zhì)的方法就是將硅進(jìn)行氧化，形成二氧化硅（SiO2）了。

SiO2是自然界中常見的一種材料，圖形光刻芯片制作，也是玻璃的主要元素。SiO2材料的主要特點(diǎn)有：具有高熔點(diǎn)和高沸點(diǎn)（分別為1713 o C和2950o C）不溶于水和部分酸，溶于具有良好的絕緣性、保護(hù)性和化學(xué)穩(wěn)定性

由于以上特性，SiO2在芯片制備的多個(gè)步驟工藝中被反復(fù)使用。芯片工藝中的氧化工藝是在半導(dǎo)體制造過程中，湖北光刻芯片制作，在硅晶圓表面形成一層薄薄的SiO2層的過程。這層氧化層有以下作用：作為絕緣層，阻止電路之間的漏電

作為保護(hù)層，防止后續(xù)的離子注入和刻蝕過程中對(duì)硅晶圓造成損傷

作為掩膜層，定義電路圖案

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MEMS光刻工藝外協(xié)——廣東省科學(xué)院半導(dǎo)體研究所是廣東省科學(xué)院下屬骨干研究院所之一，主要聚焦半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展的應(yīng)用技術(shù)研究，兼顧重大技術(shù)應(yīng)用的基礎(chǔ)研究，立足于廣東省經(jīng)濟(jì)社會(huì)發(fā)展的實(shí)際需要，從事電子信息、半導(dǎo)體領(lǐng)域應(yīng)用基礎(chǔ)性、關(guān)鍵共性技術(shù)研究，以及行業(yè)應(yīng)用技術(shù)開發(fā)。

光刻加工中的光刻套件主要在硅材料上進(jìn)行光刻，用于器件制造的商業(yè)標(biāo)準(zhǔn)光刻膠圖案。圖片所示設(shè)備，盡管套件設(shè)置為150毫米，但也可以處理更小的晶圓和碎片處理。在實(shí)際光刻加工中，確保一致的質(zhì)量抗蝕劑1 μm厚涂層，不均勻性< +/- 0.5 %與3 mm邊緣排除，實(shí)現(xiàn)分辨率：1 μm線條和空間，目標(biāo)特征上的86°輪廓。

光刻套件對(duì)于大家來說可能有些陌生，根據(jù)ANFF-Q 大學(xué)介紹并展示的圖片來看好像并沒有那么復(fù)雜。

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MEMS光刻工藝外協(xié)——廣東省科學(xué)院半導(dǎo)體研究所是廣東省科學(xué)院下屬骨干研究院所之一，主要聚焦半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展的應(yīng)用技術(shù)研究，數(shù)字光刻芯片制作，兼顧重大技術(shù)應(yīng)用的基礎(chǔ)研究，立足于廣東省經(jīng)濟(jì)社會(huì)發(fā)展的實(shí)際需要，從事電子信息、半導(dǎo)體領(lǐng)域應(yīng)用基礎(chǔ)性、關(guān)鍵共性技術(shù)研究，以及行業(yè)應(yīng)用技術(shù)開發(fā)。

在半導(dǎo)體工藝?yán)?，紫外光刻芯片制作，沉積是指在原子或分子水平上，將材料沉積在晶圓表面作為一個(gè)薄層的過程。沉積工藝就像是噴涂刷，將涂料均勻的薄薄噴灑在晶圓表面上。

根據(jù)實(shí)現(xiàn)方法的不同，沉積主要分為物***相沉積（PVD）和化學(xué)氣相沉積（CVD）。

PVD是利用物理方法，將材料源氣化成氣態(tài)原子、分子，或電離成離子，并通過低壓氣體，在基體表現(xiàn)沉積成薄膜的過程。一般用來沉積金屬薄膜。

CVD是利用含有薄膜元素的一種或幾種氣相化合物，在襯底表面進(jìn)行化學(xué)反應(yīng)形成薄膜的方法。一般用于沉積半導(dǎo)體或絕緣體，以及金屬合金等。

為了增強(qiáng)化學(xué)反應(yīng)，CVD也可以與其他方法相結(jié)合。如PECVD（等離子增強(qiáng)CVD，就是利用等離子體來化學(xué)反應(yīng)，改善CVD的方法。

根據(jù)不同目標(biāo)和需求，PVD和CVD在實(shí)際工藝流程中也可以自由選擇。

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圖形光刻芯片制作-半導(dǎo)體鍍膜-湖北光刻芯片制作由廣東省科學(xué)院半導(dǎo)體研究所提供。廣東省科學(xué)院半導(dǎo)體研究所是廣東 廣州 ,電子、電工產(chǎn)品加工的見證者，多年來，公司貫徹執(zhí)行科學(xué)管理、創(chuàng)新發(fā)展、誠實(shí)守信的方針，滿足客戶需求。在半導(dǎo)體研究所***攜全體員工熱情歡迎各界人士垂詢洽談，共創(chuàng)半導(dǎo)體研究所更加美好的未來。