不只是空調(diào)系統(tǒng)，天津?qū)嶒炇覂艋こ?，凈化車間系統(tǒng)中還包括有真空，空壓，氮氣，純水，廢水，二氧化碳系統(tǒng)，制程排氣系統(tǒng)，檢測標準：1、氣流速度及其均勻度檢測，這項檢測是凈化車間效果的其他各項檢測的前提，這項檢測的目的是為了明確單向流凈化車間工作區(qū)的平均氣流通度及其均勻性。2、系統(tǒng)或房間的風(fēng)量檢測。3、室內(nèi)潔凈度的檢測。潔凈度的檢測是為了確定潔凈環(huán)境可達到的空氣潔凈度級別，可采用粒子計數(shù)器檢測。4、自凈時間的檢測。通過確定自凈時間，天津?qū)嶒炇覂艋こ棠募液?，查明潔凈室?nèi)部發(fā)生污染時***其原有潔凈度的能力。
潔凈廠房的工藝平面布置
潔凈廠房的工藝平面布置：① 凈室（區(qū)）內(nèi)只布置必要的工藝設(shè)備，天津?qū)嶒炇覂艋こ坦?，以及有空氣潔凈度等級要求的工序和工作室。?有空氣潔凈度要求的潔凈室（區(qū)）應(yīng)靠近空氣調(diào)節(jié)機房；空氣潔凈度要求嚴格的工序應(yīng)布置在上風(fēng)側(cè)；易產(chǎn)生污染的工藝設(shè)備應(yīng)布置在靠近回風(fēng)口位置。③ 充分考慮大型設(shè)備的安裝運維路線，預(yù)設(shè)安裝口和檢修口。④ 設(shè)置氣閘室、傳遞窗；單獨的物料入口。⑤ 車間內(nèi)各項固定技術(shù)設(shè)施（送風(fēng)口、照明器、回風(fēng)口、管線等）的布置應(yīng)優(yōu)先考慮凈化空調(diào)系統(tǒng)的要求。
電子萬級潔凈室廠房特點：潔凈度等級要求高，風(fēng)量、溫濕度、壓差、設(shè)備排風(fēng)按需受控，照度、潔凈室截面風(fēng)速按設(shè)計或規(guī)范受控，另外該類潔凈室對靜電要求極其嚴格。其中對濕度的要求尤為嚴格。如果廠房過于干燥則易產(chǎn)生靜電，造成CMOS集成損壞。
一般來說，電子廠房的溫度應(yīng)控制在22℃左右，相對濕度控制在50-60%之間（特殊潔凈車間有相關(guān)溫濕度規(guī)定）。這時可有效地消除靜電，并使人感覺舒適。芯片生產(chǎn)車間、集成電路無塵室和磁盤制造車間是屬于電子制造行業(yè)潔凈室的重要組成部分，由于電子產(chǎn)品在制造、生產(chǎn)過程中對室內(nèi)空氣環(huán)境和品質(zhì)的要求極為嚴格，主要以控制微粒和浮塵為主要對象，同時還對其環(huán)境的溫濕度、新鮮空氣量、噪聲等做出了嚴格的規(guī)定。
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