工廠裝修潔凈室入口宜設(shè)空氣吹淋室。當(dāng)不設(shè)空氣吹淋室時(shí)，應(yīng)設(shè)氣閘室。空氣潔凈度等級(jí)為5級(jí)或嚴(yán)于5級(jí)的垂直單向流潔凈室，宜設(shè)氣閘室?？諝獯盗苁业倪M(jìn)、出門不得同時(shí)開(kāi)啟，應(yīng)采取連鎖控制措施。單人空氣吹淋室，應(yīng)按班人數(shù)30人設(shè)一臺(tái)。潔凈室人員超過(guò)5人時(shí)，空氣吹淋室一側(cè)應(yīng)設(shè)單向旁通門。不同等級(jí)的潔凈室之間的靜壓差應(yīng)大于等于5Pa。工廠裝修潔凈室與非潔凈室之間的靜壓差應(yīng)大于5Pa。
半導(dǎo)體行業(yè)廢氣排放具有排氣量大、排放濃度小的特點(diǎn)
廢氣工程：由于半導(dǎo)體工藝對(duì)操作室清潔度要求極高，通常使用風(fēng)機(jī)抽取工藝過(guò)程中揮發(fā)的各類廢氣，天津GMP車間設(shè)計(jì)價(jià)格，因此半導(dǎo)體行業(yè)廢氣排放具有排氣量大、排放濃度小的特點(diǎn)。廢氣排放也以揮發(fā)為主。表中給出了不同生產(chǎn)工藝排放的廢氣組成。這些廢氣排放主要可以分為四類：酸性氣體、堿性氣體、有機(jī)廢氣和有***體。
空壓氣體工程：螺桿式空壓機(jī)組主要主要有以下系統(tǒng)組成：空氣流程系統(tǒng)、潤(rùn)滑油流程系統(tǒng)、冷卻系統(tǒng)、安全保護(hù)系統(tǒng)、控制系統(tǒng)及電氣線路。螺桿式空壓機(jī)組主要有壓縮機(jī)、電動(dòng)機(jī)、空氣濾清器、進(jìn)氣閥、油氣桶、空氣冷卻器、潤(rùn)滑油冷卻器壓力開(kāi)關(guān)、單向閥、儲(chǔ)氣罐、壓力表、自動(dòng)排水器、安全閥等設(shè)備部件。另外在空壓機(jī)系統(tǒng)中大多配置冷干機(jī)和空氣干燥器。
各種物件在送入潔凈區(qū)前必須經(jīng)過(guò)凈化處理，天津GMP車間設(shè)計(jì)設(shè)計(jì)，簡(jiǎn)稱“物凈”。物料凈化路線與人凈路線應(yīng)分開(kāi)，如果物料與人員只能在同一處進(jìn)入潔凈室，也必須分門而入，物料并先經(jīng)過(guò)粗凈化處理。對(duì)于生產(chǎn)流水線不強(qiáng)的場(chǎng)合在物料路線中間可設(shè)中間庫(kù)。如果生產(chǎn)流水線很強(qiáng)，天津GMP車間設(shè)計(jì)，則采用直通式物料路線，有時(shí)還需要在直通路線中間設(shè)多次凈化、傳遞設(shè)施。在系統(tǒng)設(shè)計(jì)上，物凈用房的粗凈化和精凈化階段由于會(huì)吹落很多生微粒，所以相對(duì)潔凈區(qū)應(yīng)保持負(fù)壓或零壓，如果污染***性大則對(duì)入口方向也要保持負(fù)壓。
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