由于潔凈室是密閉性很強的建筑，其安全疏散成為非常重要和突出的問題，芯片廠凈化車間，和凈化空調(diào)系統(tǒng)設置也有密切關系。一般應注意以下幾點：1．每一生產(chǎn)層防火區(qū)或潔凈區(qū)至少設2個安全出口，只有面積小于50?，人員少于5人時，可允許只設一個安全出口。2．人凈入口不應作疏散出口。因為人凈路線往往迂回曲折，一旦煙火迷漫，要求人員很快跑到室外是很困難的事。3．吹淋室不能作為一般出入通道，芯片廠凈化工程施工，由于這種門常為兩扇聯(lián)鎖或自動，東麗芯片廠凈化，一旦出現(xiàn)故障，非常影響疏散，所以一般均在吹淋室設旁通門，工作人員多于5人時必須設此門。平時工作人員出潔凈室時不應走吹淋室而應走旁通門。
凈化車間系統(tǒng)的檢測標準
不只是空調(diào)系統(tǒng)，凈化車間系統(tǒng)中還包括有真空，空壓，氮氣，純水，廢水，二氧化碳系統(tǒng)，制程排氣系統(tǒng)，芯片廠凈化車間施工，檢測標準：1、氣流速度及其均勻度檢測，這項檢測是凈化車間效果的其他各項檢測的前提，這項檢測的目的是為了明確單向流凈化車間工作區(qū)的平均氣流通度及其均勻性。2、系統(tǒng)或房間的風量檢測。3、室內(nèi)潔凈度的檢測。潔凈度的檢測是為了確定潔凈環(huán)境可達到的空氣潔凈度級別，可采用粒子計數(shù)器檢測。4、自凈時間的檢測。通過確定自凈時間，查明潔凈室內(nèi)部發(fā)生污染時***其原有潔凈度的能力。
廢氣工程：由于半導體工藝對操作室清潔度要求極高，通常使用風機抽取工藝過程中揮發(fā)的各類廢氣，因此半導體行業(yè)廢氣排放具有排氣量大、排放濃度小的特點。廢氣排放也以揮發(fā)為主。表中給出了不同生產(chǎn)工藝排放的廢氣組成。這些廢氣排放主要可以分為四類：酸性氣體、堿性氣體、有機廢氣和有***體。
空壓氣體工程：螺桿式空壓機組主要主要有以下系統(tǒng)組成：空氣流程系統(tǒng)、潤滑油流程系統(tǒng)、冷卻系統(tǒng)、安全保護系統(tǒng)、控制系統(tǒng)及電氣線路。螺桿式空壓機組主要有壓縮機、電動機、空氣濾清器、進氣閥、油氣桶、空氣冷卻器、潤滑油冷卻器壓力開關、單向閥、儲氣罐、壓力表、自動排水器、安全閥等設備部件。另外在空壓機系統(tǒng)中大多配置冷干機和空氣干燥器。
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