氦質(zhì)譜檢漏儀為氣體工業(yè)名詞術(shù)語，用氦氣或者氫氣作示漏氣體，以氣體分析儀檢測氦氣而進(jìn)行檢漏的質(zhì)譜儀。一般檢漏都采用氦氣(He)作為示漏氣體，但也有用氫氣(H)作為示漏氣體的，考慮到它的化學(xué)性質(zhì)及***性，在應(yīng)用中較少使用，所以實(shí)際大部分檢漏使用的都是氦氣。氦氣檢漏儀特有的清氦系統(tǒng)，快速有效地清除超標(biāo)的氦本底，保證檢測的穩(wěn)定性和準(zhǔn)確性；實(shí)時監(jiān)測氦氣壓力和濃度，保證了工件檢測的精度；

氦質(zhì)譜檢漏設(shè)備檢漏過程中，真空箱氦檢漏系統(tǒng)，如發(fā)現(xiàn)大量氦氣進(jìn)質(zhì)譜檢漏儀，應(yīng)立即移去吸，防止因儀器長時間清除不掉氦影響而延誤測試。于氦檢是通過氦穿過漏孔來檢漏的，所以焊縫表面若存有油污、 焊渣以及設(shè)備內(nèi)部的積水、污垢等都會使泄漏孔暫時阻塞而影響檢測結(jié)果，因此，測試前必須設(shè)備內(nèi)部清理干凈及焊縫表面并用熱風(fēng)裝置將設(shè)備內(nèi)部干燥。氦質(zhì)譜檢漏主要領(lǐng)域：電力工業(yè)——高壓開關(guān)、避雷器、發(fā)電廠冷凝器系統(tǒng)；電力工業(yè)——電子器件、半導(dǎo)體、傳感器和積成電路；

通過外部檢漏通常都會解決，但在多遍檢漏后問題若是仍然存在，我們就應(yīng)該考慮是否存在內(nèi)部漏點(diǎn)。筆者發(fā)現(xiàn)，內(nèi)漏大多來源于各種充氣閥。若要驗(yàn)證，可以在閥門保持關(guān)閉的狀態(tài)下，將閥門的保護(hù)氣體一端法蘭打開- -縫隙，充入氦氣檢查是否漏氣，若不漏氣，再將閥門連接好后立即充入保護(hù)氣體到管路中，如果這時檢漏儀漏率值上升，那么就可以確定充氣閥泄漏是真空指標(biāo)不合格的原因。

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