在現代化的工業(yè)生產及科學實驗中對空氣濕度的重視程度日益提高,要求也越來越高,如果濕度不能滿足要求,將會造成不同程度的不良后果,例如:
1)電子廠、半導體廠、程控機房、防爆工廠等場所的濕度要求一般在40%~60%RH,如果相對濕度不夠則會造成靜電,使產品的成品率下降、芯片受損,甚至在一些防爆場所會造成,“靜電轟擊”所帶來的危害是不可估量的,當空氣濕度低于40%RH時是極易產生靜電的,雖然人們采取了很多辦法去除靜電,而將空氣濕度提高到45%RH以上是****有效的。倉儲保鮮:冷調庫、紅酒柜、超市保鮮:隨著人們生活品質的提高,人們對水果、蔬菜、花卉等的貯存提出了較高的要求,要嚴格控制庫內的溫濕度。
2)紡織廠、印刷廠、膠片廠等場所的濕度要求一般都很高,一般都大于60%RH,如紡織廠的濕度要求一般在50%~85%RH之間,黃化工段防止靜電、紡絲工段防止芒硝結晶都需要較高濕度,棉纖維的含濕量直接影響纖維強度,總之,紡織車間的空氣調節(jié)以保證工藝需要的相對濕度為主。在印刷及膠片生產過程中濕度不夠會造成套色不準,紙張收縮變形,紙張粘連,產品質量下降等問題。如此這般,既沒有兼顧到產品的特點,也發(fā)揮不了相應的加濕器產品的優(yōu)勢,起不到節(jié)能、環(huán)保、的設備使用效果,實不足取。
1現代化的工業(yè)生產對空氣濕度的重視程度日益提高,要求也越來越高,對于電子芯片廠房,如果濕度不能滿足要求,將會靜電,使產品的成品率下降、芯片受損,嚴重影響企業(yè)生產。
本工程為集成電路產品的生產項目,潔凈區(qū)平面為島型布置,操作區(qū)潔凈度為4,5級, 由于生產工藝的要求,對溫、濕度的要求很高:溫度21℃ ±0.5℃ ,相對濕度40% ± 3% ;設備區(qū)潔凈度為5.5級,無特定溫、濕度要求。凈化空調系統(tǒng)采用風機過濾單元(FFU) 干表冷器 新風處理機組的型式。操作區(qū)為送風區(qū),設備區(qū)為回風區(qū)。冷源分為兩種:低溫冷凍水(0℃~5 oC), 中溫冷凍水(12℃~16℃);熱源為38℃~32℃ 的熱水, 由熱水鍋爐和帶熱回收的冷凍機組提供。潔凈區(qū)的溫度由干表冷器控制,相對濕度由新風處理機組控制。髙壓微霧噴霧器咀每秒鐘能造成50億次細顆粒物,細顆粒物的直徑僅為3~10μm,好似山間云霧繚繞,加濕減溫效果。
2 加濕方案選擇
由于熱源使用熱水,沒有蒸汽系統(tǒng), 出于減少系統(tǒng)種類的考慮,首先選擇非蒸氣的加濕方式。淋水室加濕為等焓加濕,在加濕過程中不僅可以清潔新風,部分去除新風中的灰塵;還可以使新風中的一部分化學物質溶解于水, 降低新風中的化學物質的含量。淋水室全年運行,冬季用于加濕、清潔新風,夏季則起到清潔新風的作用。淋水室的缺點是占用空間大,在新風處理機組中長度為1.9 m;與空氣直接接觸,易受污染變臟,需要定期排污。新風處理機組由初效過濾器、中效過濾器、一級加熱盤管、一級冷卻盤管(使用12℃~16℃ 中溫冷凍水)、淋水室、二級冷卻盤管(使用0℃~5℃低溫溫冷凍水)、送風機、二級加熱盤管、過濾器組成。新風處理機組的組段方式見圖1。農業(yè):冷庫、溫室大棚、禽類養(yǎng)殖、牲畜養(yǎng)殖、花卉苗圃、食用菌類培養(yǎng)等加濕、降溫、消毒等。

