真空鍍膜機工件除氣的必要性和真空鍍膜機分類介紹

真空狀態(tài)是支持真空鍍膜機運作的環(huán)境，特別是需要高真空度的設(shè)備，通常我們需要達(dá)到高真空度，抽氣系統(tǒng)的作用是功不可沒的，但除了抽氣系統(tǒng)外，在真空鍍膜設(shè)備運行的過程中，還有一點就是，工件的除氣。

有些工件它本身內(nèi)部存在著很多的氣體、水分等，這些物質(zhì)都會隨著設(shè)備加熱時被排放到真空室中，降低了真空度，更甚者，有些氣體帶***性成分，直接損害到真空室內(nèi)部機械結(jié)構(gòu)，造成設(shè)備不能正常運作。另外，正在鍍膜過程中，由于工件內(nèi)氣體加熱膨脹，容易使已經(jīng)鍍上的膜層裂開，當(dāng)然這個情況出現(xiàn)的機率視工件本身物理性質(zhì)有關(guān)，像塑料等容易膨脹的，機率就比較高，像金屬等硬質(zhì)的，機率就比較低，但也不能忽視，因此工件的除氣是非常必要的。

通常我們使用的工件除氣方法是烘烤，通過加熱把工件內(nèi)的氣體、水分排出，在鍍膜前，抽氣的同時，對工件進(jìn)行加熱，當(dāng)工件內(nèi)水分和氣體由于加熱而放出后，隨著真空室內(nèi)的氣體一起被真空泵抽出。

針對不同的工件采取不一樣的除氣措施，有效控制工件內(nèi)部氣體與水分排放，提高鍍膜的穩(wěn)定性和均勻性。真空鍍膜機分類和適用范圍真空鍍膜機主要指一類需要在較高真空度下進(jìn)行的鍍膜，具體包括很多種類，包括真空離子蒸發(fā)，磁控濺射，MBE分子束外延，PLD激光濺射沉積等很多種。主要思路是分成蒸發(fā)和濺射兩種。

真空鍍膜機是如何操作真空電阻式蒸發(fā)鍍膜機的

隨著真空鍍膜機的工藝發(fā)展不斷革新，而硬質(zhì)薄膜的設(shè)計向著多元化、多層膜的方向發(fā)展。成為現(xiàn)代企業(yè)優(yōu)選的鍍膜工藝。今天我們通過中國真空協(xié)會的***剖析后，給予詳細(xì)作答。其實鍍膜機的正常操作方法應(yīng)該參考操作手冊的指示操作。

不過大致的操作程序，我們簡單的說一下吧：

1、檢查真空鍍膜設(shè)備各操作控制開關(guān)是否在;關(guān)位置。

2、打開總電源開關(guān)，真空鍍膜設(shè)備送電。

3、低壓閥拉出。開充氣閥，聽不到氣流聲后，啟動升鐘罩閥，鐘罩升起。

4、安裝固定鎢螺旋加熱子。把PVDF薄膜和鋁蓋板固定在轉(zhuǎn)動圓盤上。把鋁絲穿放在螺旋加熱子內(nèi)。清理鐘罩內(nèi)各部位，保證無任何雜質(zhì)污物。

5、落下鐘罩。

6、啟動真空鍍膜設(shè)備抽真空機械泵。

7、開復(fù)合真空計電源（復(fù)合真空計型號：Fzh-1A)。

8、多弧離子鍍膜機當(dāng)?shù)驼婵毡韆mp;ldquo;2amp;rdquo;內(nèi)指針再次順時針移動至6.7Pa時，低壓閥推入。

9、真空鍍膜設(shè)備開通冷卻水，啟動擴散泵，加熱40min。

10、低壓閥拉出。立式單開門鍍膜機重復(fù)一次⑦動作程序：左下旋鈕;轉(zhuǎn)至指向2區(qū)段測量位置。低真空表;內(nèi)指針順時針移動，當(dāng)指針移動至6.7Pa時，開高壓閥。

真空鍍膜機薄膜均勻性概念

1.厚度上的均勻性：也能夠理解為粗糙度，在光學(xué)薄膜的標(biāo)準(zhǔn)上看（也即是1/10波長作為單位，約為100A），真空鍍膜機的均勻性現(xiàn)已相當(dāng)好，能夠輕松將粗糙度操控在可見光波長的1/10范圍內(nèi)，也即是說關(guān)于薄膜的光學(xué)特性來說，真空鍍膜沒有任何妨礙。

2.化學(xué)組分上的均勻性：即是說在薄膜中，化合物的原子組分會由于標(biāo)準(zhǔn)過小而很簡單的發(fā)生不均勻特性，SiTiO3薄膜，假如鍍膜進(jìn)程不科學(xué)，那么實踐外表的組分并不是SiTiO3，而可能是其他的份額，鍍的膜并非是想要的膜的化學(xué)成分，這也是真空鍍膜的技能含量地點。

3.晶格有序度的均勻性：這決議了薄膜是單晶，多晶，非晶，是真空鍍膜技能中的熱點問題。

多片式比較片裝置的設(shè)計特點

1)固定筒圓筒形狀、大直徑、厚壁結(jié)構(gòu)的設(shè)計和周向?qū)ΨQ的固定方式，可保證其有足夠的強度和剛度，同時，還可阻止高溫濺射磨料對其內(nèi)部零部件污染，保證撥動盤轉(zhuǎn)動的靈活性。

2)圓形軸承座的設(shè)計，保證軸承座安裝的密封性和垂直度；增大軸的直徑尺寸，加大軸承座中兩軸承的安裝間距，提高其自身的強度和剛度，保證轉(zhuǎn)動過程中軸1的剛度和撥動盤的旋轉(zhuǎn)靈活性、位置重復(fù)的一致性。

3)裝載換位機構(gòu)，通過擴大支承盤的直徑，使該機構(gòu)在平面方向的有效面積增大，可安裝直徑大(Φ26.5mm)的比較片，有利于光路調(diào)整，提高光學(xué)薄膜質(zhì)量；比較片由單片玻璃作為一個比較片單元，比較片采用空間立體疊加安裝方式，多片玻璃疊加安裝在一個比較片存儲筒內(nèi)，實現(xiàn)一次可放置50~100片比較片，解決鍍膜機鍍制多層精密光學(xué)薄膜，比較片數(shù)量少影響鍍膜層數(shù)和精度的問題。

4)***盤與槽型光藕的配合，通過槽型光藕來感知***盤上三個均分的120°狹縫，控制電機轉(zhuǎn)動停止。軸1旋轉(zhuǎn)***重復(fù)的一致性得到保證，帶動撥動盤完成準(zhǔn)確的撥片動作。

5)轉(zhuǎn)動密封饋入機構(gòu)引入威爾遜密封機構(gòu)，既保證電機通過齒輪嚙合帶動軸的靈活轉(zhuǎn)動，又保證真空室對外部的密封作用。優(yōu)化設(shè)計的真空鍍膜機多片式比較片裝置，其特點：(1)結(jié)構(gòu)簡單，強度高，可靠性好；(2)比較片裝載數(shù)量大，生產(chǎn)效率提高，可鍍制超多層精密光學(xué)薄膜；(3)比較片直徑增大，提高薄膜監(jiān)控的精度，降低對硬件系統(tǒng)的要求，系統(tǒng)容易實現(xiàn)自動控制；