無(wú)論硅片的厚薄，晶體硅光伏電池制造商都對(duì)硅片的質(zhì)量提出了極高的要求。硅片不能有表面損傷（細(xì)微裂紋、線(xiàn)鋸印記），二手光伏板回收，形貌缺陷（彎曲、凹凸、厚薄不均）要小化，對(duì)額外后端處理如拋光等的要求也要降到低。
***示蹤原子分析和質(zhì)譜分析表明，采用雙氧體系清洗硅片效果好，同時(shí)所用的全部化學(xué)*** H2O2、NH4OH、HCl能夠完全揮發(fā)掉。用H2SO4和H2O2清洗硅片時(shí)，在硅片表面會(huì)留下約2×1010原子每平方厘米的硫原子，用后一種酸性清洗液時(shí)可以完全被清除。用H2O2體系清洗硅片無(wú)殘留物，***性小，也有利于工人健康和環(huán)境保護(hù)。硅片清洗中用各步清洗液處理后，都要用超純水徹底沖洗。
③超聲波清洗：超聲波聲能傳入溶液，靠氣蝕作用洗掉片子上的污染。但是，從有圖形的片子上除去小于 1微米顆粒則比較困難。將頻率提高到超高頻頻段，清洗效果更好?；瘜W(xué)清洗化學(xué)清洗是為了除去原子、離子不可見(jiàn)的污染，方法較多，有溶劑萃取、酸洗（***、、王水、各種混合酸等）和等離子體法等。
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